測試esd波形時(shí)示波器用什么探頭

ESD 波形具有納秒級上升時(shí)間、GHz 級高頻成分，還常伴隨瞬態(tài)高壓或大電流，常規(guī)探頭難以滿足測量需求，需根據(jù)測量目標(biāo)（電壓、電流或放電路徑）選用專用或高規(guī)格探頭，具體類型如下：

1. 高壓差分探頭這是測量 ESD 電壓波形的常用選擇。ESD 脈沖常包含正向和負(fù)向雙向脈沖，且測試環(huán)境易存在地環(huán)路干擾，差分探頭可消除地環(huán)路影響，精準(zhǔn)捕獲雙向脈沖波形。同時(shí)它具備高帶寬和低電容負(fù)載特性，推薦帶寬大于 500MHz、電容負(fù)載小于 1pF，能避免高頻信號(hào)衰減和波形失真。例如普科的 PKDV5151高壓差分探頭，適配 ESD 測試中瞬態(tài)高壓信號(hào)的捕獲需求。

2. 專用 ESD 電流探頭若需測量 ESD 瞬態(tài)電流波形，常規(guī)電流探頭因帶寬、響應(yīng)速度不足無法勝任，需用專用 ESD 電流探頭。這類探頭帶寬可達(dá) GHz 級，上升時(shí)間小于 1ns，能匹配 ESD 納秒級脈沖的瞬態(tài)特性，可精準(zhǔn)捕捉電流脈沖的前沿細(xì)節(jié)與真實(shí)波形。通常需搭配帶寬≥2GHz 的高性能示波器使用，以此還原 ESD 大電流瞬態(tài)變化過程。

3. 高帶寬無源探頭對于常規(guī) ESD 電壓測試場景，若無需測量超高壓或極端高頻信號(hào)，可選用高帶寬無源探頭。它成本較低、使用便捷，建議選擇帶寬 500MHz 及以上的型號(hào)，如普科PK6500（500MHz 帶寬）、羅德與施瓦茨 RT - ZP11（700MHz 帶寬），這類探頭衰減比多為 10:1，能在保證測量精度的同時(shí)，適配 ESD 測試中常見的電壓范圍，減少對被測信號(hào)的影響。

4. 近場探頭主要用于追蹤 ESD 電流的傳播路徑以排查故障。在 ESD 測試中，可搭配高帶寬示波器，通過 H 場探頭貼近被測設(shè)備的線纜、電路板等部位，耦合 ESD 產(chǎn)生的電磁場信號(hào)，從而定位電流的主導(dǎo)傳播路徑及分支。這種方式適合在 ESD 故障排查中，輔助分析放電信號(hào)對設(shè)備內(nèi)部電路的干擾路徑。

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